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| 微电机和微动力MEMS | |
| 引用本文： | 齐臣杰,刘理天,谭智敏.微电机和微动力MEMS[J].电子商务,1999(12). |
| 作者姓名： | 齐臣杰 刘理天 谭智敏 |
| 作者单位： | 清华大学 |
| 摘 要： | 微执行器是微电子机械系统中一个重要的分支，本文讨论了微执行器中的微电机、微发电机和微涡轮发动机。 |
| 关 键 词： | 微电机 微执行器 微发电机 微涡轮发动机 微机电系统 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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