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| 微电子——光刻技术的演进 | |
| 引用本文： | 罗春龙.微电子——光刻技术的演进[J].全球科技经济瞭望,1990(7). |
| 作者姓名： | 罗春龙 |
| 摘 要： | 今天电子技术的所有方面,从信息处理、电信直至大众视听技术,都在按照集成电路的进展速度而发展。在每一台微型计算机的内部都能见到集成电路,它的芯片是一小块不到一平方厘米的硅片,就在这指甲般大小的面积上集中了可能多达好几百万个基本的电子器 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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