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| 广泛应用并高速发展的MEMS技术 | |
| 引用本文： | 黄泽寅,李张帆,胡志洪.广泛应用并高速发展的MEMS技术[J].环球市场信息导报,2014(11):153-153. |
| 作者姓名： | 黄泽寅 李张帆 胡志洪 |
| 作者单位： | 中国计量学院现代科技学院 |
| 摘 要： | MEMS传感器种类繁多，发展迅猛，应用广泛。该文介绍了MEMS传感器的概念及特点，并对MEMS的具体应用进行了简要阐述。从部分新的MEMS技术在军事及航空航天方面简述了对未来应用的展望。MEMS技术正处于高速发展，潜在市场巨大。 |
| 关 键 词： | MEMS技术 应用 航空航天 潜在市场 传感器 |
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