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| 基于MEMS技术的对称式微波功率传感器的设计研究 | |
| 引用本文： | 陈洁.基于MEMS技术的对称式微波功率传感器的设计研究[J].科技转让集锦,2013(20):37-37,39. |
| 作者姓名： | 陈洁 |
| 作者单位： | 江苏东华测试技术股份有限公司,江苏泰州214500 |
| 摘 要： | 近年来，随着微机械加工技术的飞速发展，被广泛应用在微波领域中。微波功率在微波信号的产生以及传输等各个环节的测量是必不可少的，而微波功率传感器是最常见的测量工具，由于传统的微波功率传感器容易造成误差。因此，提出了一种基于MEMS技术的对称式微波功率传感器，本文对此设计进行重点探讨。 |
| 关 键 词： | MEMS技术 对称式 微波功率传感器 设计 |
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