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| 氯化氢含氧量等技术条件对三氯氢硅质量、产量的影响 | |
| 作者姓名： | 杜俊平 赵雄 |
| 作者单位： | 中国恩菲工程技术有限公司,北京100038;洛阳中硅高科技有限公司,河南洛阳471000 |
| 摘 要： | 介绍了氯化氢含氧、水量,反应温度等技术条件对生产三氯氢硅的影响,并论述了一些提高三氯氢硅收率的措施. |
| 关 键 词： | 三氯氢硅 氯化氢 水 反应温度 |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |
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