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摘 要:
高导热AlN陶瓷基板 氮化铝(AlN)陶瓷具有热导率高,热膨胀系数与Si相当,介电常数、介质损耗小,绝缘,无毒等优异性能,作为新一代电子化工用散热基板材料,用于大规模、超大规模集成电路基板和封装,大功率分立器件基板、多片模块电路散热器、功率厚膜电路、固态继电器、功率晶体管和开关电源基板等,在微电子、高科技领域中有广阔的应用发展前景,是我国电子工业“八五”、“九五”重点开发项目。南京化工大学经多年研
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