硅微粉的湿氧化损耗和表面钝化保护研究

硅微粉在水溶液中的损耗主要包括湿氧化及硅溶解过程,对其表面钝化处理可减少水对硅微粉的腐蚀。采用1%H2O2溶液对硅微粉钝化处理后其表面形成致密、光滑的钝化层,钝化表层的悬挂键Si-O-Si和Si-H有利于阻止水对硅微粉的湿氧化损耗。经钝化处理的硅微粉在水溶液中浸泡48h后损耗率少于1%,与未经钝化处理的硅微粉在相同条件下损耗率超过20%相比,表面钝化处理对减少硅粉湿氧化损耗能发挥有效作用。