| 靶极电流对TSiN涂层微观组织和性能的影响 |
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| 引用本文： | 刘宝军,张红阳,李晓斌,李子新.靶极电流对TSiN涂层微观组织和性能的影响[J].价值工程,2019(22):229-232. |
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| 作者姓名： | 刘宝军 张红阳 李晓斌 李子新 |
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| 作者单位： | 1.广东电网有限责任公司江门供电局 |
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| 基金项目： | 广东电网有限责任公司科技项目GDKJXM20162433提供资助 |
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| 摘 要： | 采用多弧离子镀技术在Ti(C,N)金属陶瓷基体上沉积了TiSiN涂层,用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)、显微硬度仪和划痕仪等实验手段研究了靶极电流对TiSiN涂层的表面形貌、成分、涂层物相和力学性能的影响。结果表明,随着Si靶电流的增加,涂层表面颗粒的尺寸和数量均减少,涂层更加致密;涂层由固溶了Si的TiN和TiSi2相组成,Si部分取代了涂层中的Ti,对TiSiN涂层起到固溶强化作用,同时形成的TiSi2相镶嵌在非晶的Si3N4骨架结构中,使涂层的硬度升高。TiSiN涂层与过渡层TiN具有相同的晶体结构,TiN/Ti过渡层阻碍了临界剪切应力在界面处的扩展,提高了涂层与基体间的结合强度。当靶极电流比为0.25时,涂层具有较好的综合力学性能。
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| 关 键 词： | Ti-Si-N涂层 靶极电流 多弧离子镀 表面形貌 力学性能 |
The Effect of Target Current on Microstructures and Properties of TiSiN Coating |
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| LIU Bao-jun,ZHANG Hong-yang,LI Xiao-bin,LI Zi-xin.The Effect of Target Current on Microstructures and Properties of TiSiN Coating[J].Value Engineering,2019(22):229-232. |
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| Authors: | LIU Bao-jun ZHANG Hong-yang LI Xiao-bin LI Zi-xin |
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| Institution: | (Guangdong Power Grid Co.,Ltd.,Jiangmen Power Supply Bureau,Guangzhou 529000,China) |
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| Abstract: | LIU Bao-jun;ZHANG Hong-yang;LI Xiao-bin;LI Zi-xin(Guangdong Power Grid Co.,Ltd.,Jiangmen Power Supply Bureau,Guangzhou 529000,China) |
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| Keywords: | TiSiN coating target current multi-arc ion plating method surface morphology mechanical properties |
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