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| ZnO基透明导电薄膜的生长技术 | |
| 作者单位： | ;1.山东师范大学;2.山东电子职业技术学院 |
| 摘 要： | 透明导电氧化物(TCO)金属导电性良好,可见光透过率较高,广泛应用于薄膜太阳能电池,OLED,LCDs,以及各种汽车应用(如防冻低热导率涂层、光控隐私玻璃等)。目前In2O3基薄膜的研究最为成熟,然而因为In材料稀有昂贵,越来越多的人转而研究ZnO基薄膜。本文报告ZnO基薄膜的研究现状。 |
| 关 键 词： | 真空蒸镀 电子束反应蒸发 分子束外延 溅射 脉冲激光沉积 溶胶-凝胶 退火 |
The Growth Technology of ZnO Transparent Conductive Oxide Films |
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