差压耦合联合热泵精馏在SiHCl_3提纯过程中的模拟

文章针对多晶硅生产时三氯氢硅提纯过程能耗高的特点,运用化工模拟软件Aspen Plus,采用差压耦合联合热泵精馏技术对传统的三氯氢硅双塔提纯工艺进行的节能模拟分析。计算结果表明：在处理量相同的情况下,与传统精馏提纯工艺以及差压耦合精馏技术相比,能耗费用分别节约83.9%和68.1%。