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| 设备综合效率在半导体测试设备管理中的应用研究 | |
| 作者姓名： | 张 雷 |
| 作者单位： | 中芯国际集成电路制造上海有限公司,上海201203 |
| 摘 要： | 集成电路制造的生产工艺对设备和环境要求极高。文章将设备综合效率（OEE）理论运用到集成电路测试设备管理中,通过对OEE各项指标的分析与改善,实现设备产能的提升。 |
| 关 键 词： | 设备管理 设备综合效率 半导体测试 FMEA |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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