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| 一种三氯氢硅提纯方法 | |
| 摘 要： | 公开号:CN101045536公开日:2007.10.03申请人:南京锗厂有限责任公司一种三氯氢硅提纯方法,将粗三氯氢硅投入进口316L的不锈钢制作的双塔连续精馏釜中进行回流5～7 h,除去总量8%～10%的低沸物,控制 |
| 关 键 词： | 三氯氢硅 提纯方法 氢气保护 连续精馏 316L 控制温度 恒温恒压 发明创造 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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