某芯片厂房项目中使用的废气处理技术

半导体制造业是集合物理、电子、电机、光学、化学、材料及管理科学的高科技工业，为电子工业的上游技术产业。随着电子资讯工业的蓬勃发展，使得该产业成长更加快速，对我国的经济发展有很大的贡献，并且受到政府工业主管单位相当的重视。但由于半导体元件制程中，使用多种酸碱溶液、有机溶剂及特殊的有毒气体，其产生的废气及有毒物质污染强度大，若做不好污染防治工作，将造成严重的环境污染。本文就某项目为例，简述了芯片厂房的废气来源，种类及废气处理方法。