大直径<110>晶向直拉硅单晶的热场设计及工艺优化

目前所应用于各类半导体光电器件和高效太阳能电池的直拉硅单晶多为<111>及<100>晶向,但是特殊晶向的<110>硅单晶可制备出光电转换效率更高、材料成本更低的太阳能电池,但这种特殊晶向硅材料的制备存在着较大的困难,本文通过数值模拟与实际试验相结合进行热系统设计及工艺的优化,开发出一套热场分布合理、工艺稳定的适合<110>直拉硅单晶生长的热场结构及工艺。