MOCVD系统检漏技术

介绍MOCVD的基本原理和几种常见的检漏方法,探讨MOCVD系统各部分的作用及其检漏技术,使工艺人员能够快速有效的确定设备各部分漏率,辅助分析产品的缺陷,最后给出降低MOCVD系统漏率的有效措施。