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| FA/O抛光液及抛光技术 | |
| 引用本文： | 刘玉岭.FA/O抛光液及抛光技术[J].设备管理与维修,1998(9). |
| 作者姓名： | 刘玉岭 |
| 作者单位： | 河北工业大学,天津市丁字沽,300130 |
| 摘 要： | FA/O抛光液是一种新型的电子化工材料,由于采用了催化、解吸、均蚀技术,产品具有无磨料、均腐蚀、粘度低、极易清洗、高速率、高活性、高浓缩度、高质量、低成本等特点. |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |
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