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| 压电薄膜传感器制备工艺的研究 | |
| 作者姓名： | 徐贤 黄示 吉磊 |
| 作者单位： | [1]三江学院,江苏南京,210000 |
| 摘 要： | 集成电路技术发展引领着微电子学电路集成进入了系统集成的时代.集成化芯片系统不仅要强大的运算分析能力、信号处理能力,还要有可以感知外界信号的微传感器,并将运算结果作用于外界环境中的微执行器.本文从微传感器的发辰现状着手,分析了压电薄膜传感器的工作原理,并进一步介绍了pvdf压电薄膜传感器的制备工艺. |
| 关 键 词： | pvdf 压电薄膜传感器 制备工艺 |
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