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| 迎接新世纪的纳米工艺学——纳米加工系统 | |
| 引用本文： | 郭志红.迎接新世纪的纳米工艺学——纳米加工系统[J].全球科技经济瞭望,2001(3):55-55. |
| 作者姓名： | 郭志红 |
| 摘 要： | 信息通信、医疗机械和科学仪器都需要所谓的纳米技术。到目前为止，涉及纳米的有关半导体工艺的模拟三维加工技术已取得进展。但实际上，不仅仅是加工，还要在加工后进行封装操作。像这样的三维微观操作系统被称为纳米加工系统。 如何构成该系统，通常有两种考虑。一种是与一般的机械加工工艺相同，即将各个部件做成后组装起来，该割断的割断，该连接的连接，最后成为一个整体结构。另一种考虑就是半导体工艺，即从外表看，做成的是模块，从成品来判断其好坏。这是通过计算机监控进行操作的系统。 日本东京大学的科学家采用后一种方… |
| 关 键 词： | 纳米技术 纳米工艺学 纳米加工系统 作用 DNA测序 系统构成 |
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