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| 半导体工艺设备维修过程中安全风险管理 | |
| 引用本文： | 朱超,刘霞美,王秀海,赵英伟.半导体工艺设备维修过程中安全风险管理[J].设备管理与维修,2024(2):1-3. |
| 作者姓名： | 朱超 刘霞美 王秀海 赵英伟 |
| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 摘 要： | 针对半导体工艺设备特点，对设备维修过程中安全风险因素进行辨识、分类、分析，强化维修过程中安全意识，建立一系列安全体系规章制度。根据工艺设备特点有针对的制定维修安全方案，能够保障设备维修人员安全，规范设备维修流程，同时也提升了维修质量，保障半导体工艺设备的正常运行。 |
| 关 键 词： | 半导体工艺设备 设备维修 风险辨识 |