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杂志ISSN号
扫描隧道显微镜探针针尖的制作
作者姓名:
姜宇
徐送宁
作者单位:
姜宇(沈阳理工大学理学院物理教研室);徐送宁(沈阳理工大学理学院物理教研室)
摘 要:
扫描隧道显微镜探针针尖的加工方法有好多,最主要的是电化学腐蚀法、机诫成形法和粒子束刻蚀法等。本文利用不同方法制作出针尖,并探讨了针尖的制作技巧。
关 键 词:
扫描隧道显微镜
针尖
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