微结构表面加工技术探讨

文章介绍了利用单晶金刚石刀具加工具有微结构表面特征的光学器件的实例,就微光学器件的应用标准从面型精度和表面粗糙度方面提出了检测标准。同时,从机床设备、刀具参数、工件材料、加工环境控制等方面提出了技术要求。