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| 21世纪及1999年微电子技术展望 | |
| 作者姓名： | 王阳元 张兴 |
| 作者单位： | 北京大学 |
| 摘 要： | 展望２１世纪及１９９９年微电子技术的发展。认为２１世纪初的微电子技术仍将以硅基ＣＭＯＳ电路为主流工艺,但将突破目前所谓的物理“限制”;集成系统将取代目前的集成电路得以迅速发展;微电子技术将与其它技术结合形成一系列新的增长点,微光机电系统（ＭＯＭＥＳ）、ＤＮＡ芯片等将得到突飞猛进的发展。１９９９年的微电子技术将在超微细光刻技术、铜互连及低κ互连绝缘介质、高κ栅绝缘介质、ＳＯＩ技术、ＧｅＳｉ和ＧａＮ技术等方面得到快速发展 |
| 关 键 词： | 微电子技术 限制 集成系统 微光机电系统 DNA芯片 |
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