芯片生产过程中的特气处理自动控制设计

自动控制系统对燃烧安全及运维便捷起着至关重要的作用。特气燃烧处理自动控制系统采用S7-1500PLC系统并着重燃烧安全控制进行自控设计。本文介绍了特气的危害与燃烧处理自动控制系统，阐述了涉及到的燃烧串的设计、点火程序设计、硬件与程序的安全控制、报警程序设计、运维手动及刮刀程序设计、以及S7-1500控制系统为主的硬件及程序设计过程。