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| 俄罗斯科学家开发出氧化铝生产新方法 | |
| 摘 要： | <正>莫斯科国立电子技术学院一科研小组开发出了一种生产纳米多孔氧化铝方法。采用这种氧化铝,可以创建包括光子晶体在内的系列用于半导体器件的现代材料。目前,微电子半导体器件主要通过光刻技 |
| 关 键 词： | 多孔阳极氧化铝 半导体器件 纳米多孔氧化铝 科学家 光子晶体 科研小组 技术学院 莫斯科 现代材料 氧化铝生产 |
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