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| 论新型聚焦电子束—环形阴极电子枪的可行性 | |
| 引用本文： | 马飞,张庆涛.论新型聚焦电子束—环形阴极电子枪的可行性[J].中国电子商务,2013(9):69-69. |
| 作者姓名： | 马飞 张庆涛 |
| 作者单位： | 抚矿工学院 辽宁抚顺113008 |
| 摘 要： | 本文阐述了环形阴极电子枪的可行性。通过模拟软件lorentz 2D的验证，这种新型环形阴极电子枪可以提供更高的脉冲电流（〉1μA）和更高的分辨率（〈20nm）。 |
| 关 键 词： | 电子枪 环形设计 扫描电子显微镜 |
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