| 低损耗高Q值声表面波谐振器 |
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| 引用本文： | 周卫.低损耗高Q值声表面波谐振器[J].国际商务研究,2004,44(5):128-131. |
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| 作者姓名： | 周卫 |
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| 作者单位： | 电子科技大学微电子与固体电子学院 四川成都610054 |
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| 摘 要： | 介绍了低损耗高Q值声表面瑞利波和声表面横波谐振器的原理、结构、制作和关键的设计参数，以及实验结果。其中双端声表面瑞利波谐振器的有载Q值可达5000以上，无载Q值可达20000以上。
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| 关 键 词： | Q值 声表面波谐振器 低损耗 原理 实验结果 高Q 横波 |
Surface Acoustic Wave Rasonators with Low Loss and High Q Factor |
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| ZHOU Wei.Surface Acoustic Wave Rasonators with Low Loss and High Q Factor[J].International Business Research,2004,44(5):128-131. |
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| Authors: | ZHOU Wei |
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| Abstract: | This paper introduces the theory,structure,manufacture, key design parameters, and experiment result of surface acoustic Rayleigh wave and surface transverse wave rasonators.The load Q of two-port surface acoustic Rayleigh wave rasonators can reach more than 5 000,and unload more than 20 000. |
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| Keywords: | SAW devices Rasonator Quality factor(Q factor) Loss |
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