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| 离子溅射镀膜机工件架系统设计研究 | |
| 引用本文： | 吕子啸.离子溅射镀膜机工件架系统设计研究[J].科技转让集锦,2014(20):54-54. |
| 作者姓名： | 吕子啸 |
| 作者单位： | 山西太重兴业投资发展有限公司,山西太原030024 |
| 摘 要： | 随着我国制造行业的快速发展，离子溅射镀膜机已经被广泛的运用于半导体集成电路、太阳能光伏、显示器、LED、触摸屏、化工及医药制造等行业中，因此，离子溅射镀膜机对我国制造行业的发展具有重要作用。本文从磁控溅射离子镀膜机的优点入手，对磁控溅射离子镀膜机工件架系统设计进行研究。 |
| 关 键 词： | 镀膜机 离子溅射镀膜机 工件架 系统设计 |
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