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| 半导体设备真空泵常见故障分析及维修 | |
| 作者姓名： | 刘豪 张强 赵志昊 丁文杰 |
| 作者单位： | 重庆声光电有限公司,重庆400060;重庆声光电有限公司,重庆400060;重庆声光电有限公司,重庆400060;重庆声光电有限公司,重庆400060 |
| 摘 要： | 介绍半导体真空设备使用的常见真空泵,归纳总结几种典型的真空泵常见故障原因和处理办法。 |
| 关 键 词： | 半导体设备真空泵 设备维修 故障分析 旋片泵 分子泵 低温泵 |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ | |
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