X光检测机真空频繁报错故障分析

某型号X光检测机3天左右就出现一次真空故障。故障现象是设备停止抽真空,导致设备不能正常工作。使用2个同精度等级的高真空计同时测量,测量值差一个数量级。将设备上的高真空计送生产厂家维修调整,使用计量过的高真空计进行对比,找到故障原因是真空计不准,导致设备真空报错。该型号设备真空值(绝对压强值)小于下限设定值会报错。