| 一种集成式多参数硅微传感器 |
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| 引用本文： | 周建发,赵玉龙,苑国英,蒋庄德.一种集成式多参数硅微传感器[J].山东经济战略研究,2006(2). |
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| 作者姓名： | 周建发 赵玉龙 苑国英 蒋庄德 |
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| 作者单位： | 西安交通大学精密工程研究所，机械制造系统工程国家重点试验室 西安710049，西安710049 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助(50475085) |
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| 摘 要： | 为了实现小体积多参数的测量,提出一种单片集成多功能传感器。该传感器包括压力、温度和湿度传感器。各部分分别基于半导体压阻效应、电阻迁移率变化、极板间电容变化为原理制作而成。该传感器采用n型(100)基底,利用体硅和面硅工艺加工而成。测量电阻通过离子注入B 形成扩散电阻。为减小各参数间的相互影响,压力传感器的测量电阻布置于110]晶向,测温电阻沿100]晶向布置。温度输出信号可以实现对传感器中压力输出时温度漂移的精确补偿。芯片大小为5mm×5mm。试验表明传感器具有良好的线性,小迟滞,较高的灵敏度。
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| 关 键 词： | 压力传感器 扩散 温度传感器 湿度传感器 集成传感器 |
Micro Silicon Multi-Function Integrated Sensor |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | pressure sensor spreading silicon temperature sensor humidity sensor integrated sensor |
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