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| 设备工程名词术语 | |
| 作者单位： | |
| 摘 要： | 超精细加工 superfinishing 是制作微电子电路的一种原子级加工技术。其内容可概括为“一机三束”:利用计算机辅助设计技术进行电路系统的设计;利用分子束外延技术按照原子层生长单晶材料;利用离子束刻蚀技术对原子进行刻蚀剥离;利用电子束曝光技术印刷小于1微米线条图像。超精细加工是超大规模集成电路不断发 |
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