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| 日本高技术开发要闻 | |
| 作者姓名： | 付樱 |
| 摘 要： | 1.通产省从1991年开始实施一项新的大型项目“微机械技术”的10年研究开发计划。该计划总投资为250亿日元。主要研究开发内容为:(1)极微细机械元件技术,(2)微小传感器、控制电路等基本技术,(3)系统技术,(4)计测、评价技术,(5)上述(1)—(2)所需要的一系列支援技 |
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