| 基于MEMS侧面输出的压力传感器设计 |
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| 引用本文： | 冯 飞,续睿玲,秦 丽.基于MEMS侧面输出的压力传感器设计[J].河北工业科技,2021,38(2):91-96. |
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| 作者姓名： | 冯 飞 续睿玲 秦 丽 |
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| 作者单位： | 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原 030051;中北大学电子测试技术重点实验室,山西太原 030051 |
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| 摘 要： | 为了解决应用正面压力传感器测量光纤打弯导致光损耗增加的问题,提出了一种应用侧面输出的压力传感器设计方案。对45°的斜面光纤和法珀压力传感器中MEMS工艺键合的敏感单元进行激光焊接,制成了基于MEMS侧面输出的压力传感器。搭建了侧面输出的MEMS压力传感器的测试装置,通过光谱仪对检测信号进行了解调,并对所得数据进行了分析计算。结果表明,传感器的腔长与所加的压力呈现线性关系,其灵敏度为3.048μm/MPa。应用侧面输出压力传感器更有利于管道壁面压力的测量,光信号更容易转换成电信号,减少了光的模式之间的干扰,有助于减少光的损耗。所得结果对狭窄空间和恶劣环境下的管道测量工作提供了更多选择,对实现管道内壁压力的精确测量具有一定的借鉴价值。
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| 关 键 词： | 传感器技术 侧面输出 光纤法珀 MEMS 光损耗 |
| 收稿时间： | 2020/12/10 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2021/1/5 0:00:00 |
Design of pressure sensor based on MEMS side output |
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| FENG Fei,XU Ruiling,QIN Li.Design of pressure sensor based on MEMS side output[J].Hebei Journal of Industrial Science & Technology,2021,38(2):91-96. |
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| Authors: | FENG Fei XU Ruiling QIN Li |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | sensor technology side output fiber Fabry-Perot MEMS optical loss |
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