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| 不同折射率对N型单晶硅太阳电池电性能的影响 | |
| 引用本文： | 李永超,崔景光.不同折射率对N型单晶硅太阳电池电性能的影响[J].科技转让集锦,2011(17):83-83. |
| 作者姓名： | 李永超 崔景光 |
| 作者单位： | 英利绿色能源有限公司,河北保定071000 |
| 摘 要： | 用等离子增强化学气相沉积（PECVD）法,通过改变SiH4]/NH3：H2]的流量比沉积氮化硅薄膜。用椭偏仪测量氮化硅薄膜的厚度、折射率。研究了N型单晶硅太阳电池沉积氮化硅薄膜的电性能。 |
| 关 键 词： | 单晶硅 太阳电池 PECVD 氮化硅 折射率 |
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