用于通信领域中的MEMS器件

微电子机械系统（ＭＥＭＳ）技术在未来的通信领域中有着广泛的应用前景，本文介绍了若干个用于通信线路中的ＭＥＭＳ器件，如微电容器、微电感器、微谐振器、微滤波器、微开关等的典型结构形式及其主要性能。