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| 电子工业的新型材料——G21水溶型光致抗蚀干膜 | |
| 引用本文： | 何秀珍.电子工业的新型材料——G21水溶型光致抗蚀干膜[J].国际商务研究,1985(1). |
| 作者姓名： | 何秀珍 |
| 摘 要： | 本文概述了G21水溶型光致抗蚀干膜(简称G21干膜)光敏性的提高以及干膜光敏性的各种影响因素;介绍了G21于膜的粘结聚合物的改进和胶液组成;文中还讨论了G21干膜的基本性能和应用工艺的问题。 |
| 关 键 词： | 光致抗蚀干膜 研制 应用 |
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