过氧化氢—硫酸刻蚀新工艺

在印刷电路工业中,用过氧化氢—硫酸混合液作为最终刻蚀已获满意的应用。本文讨论了这种刻蚀液用喷淋和浸渍两种方式时正、反两个方面的看法;讨论了溶液中硫酸和过氧化氢浓度、温度、添加剂以及杂质对溶液性能的影响。也谈到了刻蚀液中铜的回收方法。