吸附在氯硅烷除杂方面的应用

文章总结了吸附在氯硅烷除硼磷杂质方面的应用,主要介绍了吸附原理、三氯氢硅吸附和二氯二氢硅吸附,对比吸附和传统精馏的差别。特别是危险性较高的二氯二氢硅利用吸附除去杂质硼、磷,可将吸附得到的高纯二氯二氢硅通入还原工序还原制备高纯多晶硅,减少二氯二氢硅的贮存量,降低危险性。