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吸附在氯硅烷除杂方面的应用
作者单位:
;1.中国恩菲工程技术有限公司
摘 要:
文章总结了吸附在氯硅烷除硼磷杂质方面的应用,主要介绍了吸附原理、三氯氢硅吸附和二氯二氢硅吸附,对比吸附和传统精馏的差别。特别是危险性较高的二氯二氢硅利用吸附除去杂质硼、磷,可将吸附得到的高纯二氯二氢硅通入还原工序还原制备高纯多晶硅,减少二氯二氢硅的贮存量,降低危险性。
关 键 词:
吸附
三氯氢硅
二氯二氢硅
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