跨世纪的新技术——微机电系统(MEMS)

微机电系统是一个新兴的技术领域，是一个跨世纪的新学科。它将电子系统和外部世界有机地联系起来，它不仅可以感受运动、光、声、热、磁等自然界信号，并将这些信号转换成电子系统可以认识的电信号，而且还可以通过电子系统控制这些信号，进而发出指令，控制执行部件完成所需要的操作。本文主要就ＭＥＭＳ技术的特点、分类、研究领域、加工工艺、用途以及今后的发展趋势等问题进行简要的讨论和分析。