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| 台湾的新技术、新产品 | |
| 作者单位： | |
| 摘 要： | ·台研发深紫外光光阻剂技术 台湾永光化学公司研发成功深紫外光 248纳米光阻剂技术，为 0. 15微米半导体制程带来契机。 永光化学公司又在研发下一代 193纳米光阻剂。现有初步成果，适用于 0. 13微米以下线幅制程，将与海外各大光阻剂厂商同步发展。 据称，这不仅是永光的一大经营成就，更是台湾精密电子化学品的重要里程碑。 ·台开发完成钢板多层自动焊接系统 台湾金属工业研究发展中心，最近研发完成整合四轴同动、视觉感测、参数适应控制等高技术层次的钢板多层自动化焊接设备。 该焊接系统的关键技术为：焊接台车… |
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