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| 结晶硅化物 | |
| 摘 要： | 硅单晶炉热系统装置，竖直式离子注入碳化硅高温退火装置，水平式离子注入碳化硅高温退火装置，一种用于单晶炉上的轴向集线器，用于减少硅单晶棒截断崩边的工具，……[编者按] |
| 关 键 词： | 硅化物 结晶 退火装置 离子注入 系统装置 单晶炉 碳化硅 水平式 集线器 硅单晶 |
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