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| 基于直线电机驱动的芯片检测定位控制系统研究 | |
| 作者单位： | ;1.昆明理工大学机电工程学院 |
| 摘 要： | 芯片在封装过程中可能存在金线断裂,封装开裂等内部损伤,通常需要进行内部探伤来检测其是否合格。由于芯片内部元件以及线路极其精密,因此对检测系统的驱动定位系统也要求具有极高的精度。文章基于U型直线电机高精度的特点,设计了由U型直线电机驱动的超声波芯片检测定位控制系统,通过对由U型直线电机驱动的工作台硬件以及软件的设计,达到了芯片检测的要求。 |
| 关 键 词： | U型直线电机 定位系统 控制系统 |
The Research of Positioning System and Control System for Check Chips Based on Linear Motor |
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