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| 我国全面实施“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”重大专项 | |
| 摘 要： | <正>我国"极大规模集成电路制造装备及成套工艺"重大专项进入全面实施阶段。据介绍,"极大规模集成电路制造装备及成套工艺"重大专项旨在开发集成电路关键制造装备,掌握具有自主知识产权的成套先进工艺及相关新材料技术,打破我国高端集成电路制造装备与工艺完全依赖进口的 |
| 关 键 词： | 大规模集成电路 成套工艺 制造装备 大专 自主知识产权 新材料技术 结构调整 技术提升 |
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