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| 微悬臂梁阵列成像系统光学特性分析 | |
| 引用本文： | 严伟,佟军民,陈大鹏,胡松,赵立新,杨勇,蒋文波,周绍林,陈旺富.微悬臂梁阵列成像系统光学特性分析[J].空运商务,2012,46(7). |
| 作者姓名： | 严伟 佟军民 陈大鹏 胡松 赵立新 杨勇 蒋文波 周绍林 陈旺富 |
| 作者单位： | 1. 中国科学院光电技术研究所,成都,610209 2. 许昌职业技术学院,许昌,461000 3. 中国科学院微电子研究所微细加工与纳米技术研究室,北京,100029 |
| 基金项目： | 西部之光人才培养计划支持，2008科技救灾项目 |
| 摘 要： | 光学读出式红外成像系统是近年来提出的一种新型红外成像技术,该技术是基于探测双材料微悬臂梁吸收红外辐射后的变形量.这种红外光学成像系统由微悬臂梁阵列和光学读出设备组成,在本文中,将首先论述其系统结构和成像原理;在此基础上,通过分析单个微梁的衍射谱在透镜谱面上空域分布特点,提出了一种改进的谱平面刀口滤波方法,特别是讨论了成像系统将热变形角度转换成图像灰度的原理以及影响因素,并深入分析了成像系统的灵敏度.最后,给出了利用本系统获得37 ℃和300 ℃温度的红外发光物体成像结果. |
| 关 键 词： | 非制冷红外成像 光学读出 双材料微梁阵列 |
The performance analysis of optical readout in micro-cantilever array IR imaging system |
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| Keywords: | |
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