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| 新兴学科——微电子机械 | |
| 作者姓名： | 李成秋 |
| 摘 要： | 微电子机械作为一门新兴学科 ,正在世界范围内受到重视与关注。以往出现在美国科幻影片中的情节 ,正由科学家们的智慧与力量逐步变为现实。微电子机械加工与传统的机械加工不同。后者一般是采用车、钳、刨、铣等形式加工的 ,而微电子机械加工却包含有几层意思 ,一是用微电子方法加工 ;二是加工的零件、部件都是微小的 ,可微小到亚毫米数量级 ;三是加工成的零部件可与集成电路集成在一起 ,形成微电子机械。目前 ,国内外的研究大多偏重于第一方面。国内在这方面的起步较晚 ,一般都从 1991年、1992年起 ,从加工微型齿轮、涡轮开始 ,以后制成微… |
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