|
|||||
|
|
| CBIR在半导体测量中的应用 | |
| 引用本文： | 张健.CBIR在半导体测量中的应用[J].中国高新技术企业评价,2010(1):61-62. |
| 作者姓名： | 张健 |
| 作者单位： | 西北工业大学明德学院,陕西西安710124 |
| 摘 要： | 文章简要讨论了CBIR在半导体测量中的应用。从半导体生产测量的特点入手,阐述了利用CBIR进行半导体某些参数测量的可能性和实际意义,在此基础上提出了下一步工作进展的方向,以实现用数字化指导生产实践的目标。 |
| 关 键 词： | CBIR 半导体测量 侧壁 SEM图像 |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ | |