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| 前景广阔的新材料—金刚石薄膜 | |
| 作者姓名： | 吴华珠 |
| 摘 要： | <正> 金刚石薄膜又简称DTF(Diamond Thin Film),近年来已成为科技先进国家研制开发的最热门的新材料之一。它除具备一般金刚石的物化性质外,还有着薄膜材料的特有性质,因而在电子器件、光学材料及机械工具涂层等领域有着巨大的应用前景,是继硅铝之后的第三代多功能材料。 1 合成技术目前合成金刚石薄膜的方法主要有:灯丝热解CVD法,微波等离子体CVD法,直流电弧热解法(DCarc),氧一乙炔燃烧法,直流等离子体喷射CVD法 |
| 关 键 词： | 金刚石薄膜 电子器件 光学材料 电学性能 |
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