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| 氯硅烷水解工艺研究进展 | |
| 作者单位： | ;1.江苏中能硅业科技发展有限公司;2.徐州恩华统一医药连锁销售有限公司 |
| 摘 要： | 综述了氯硅烷水解工艺的研究进展,包括碱性介质水解、过量水水解、恒沸酸水解工艺和浓酸水解工艺,探讨了各种水解工艺优缺点,展望了氯硅烷水解工艺的发展方向和在多晶硅和有机硅渣浆或残液处理上的应用前景。 |
| 关 键 词： | 有机氯硅烷 氯硅烷 渣浆 水解 |
Research Progress in Hydrolysis of Chlorosilanes |
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