关于电子级多晶硅生产技术的研究

电子级多晶硅在电子工业生产中的应用相对广泛,和电子产品的电路级功能和二极管功能产生影响。基于此,电子级多晶硅制造企业需要保障产品的质量,为电子工业生产提供质量有保障的电子级多晶硅。文章从电子级多晶硅的生产工艺入手,对电子级多晶硅的生产技术进行分析,以期为制造企业提供理论参考。     

国内硅烷法制备电子级区熔用多晶硅的进展

对硅烷热分解法制备多晶硅的工艺作了介绍,探讨了硅烷法制备电子级多晶硅的优势。硅烷CVD法所沉积的多晶硅,在电阻率、少子寿命、杂质含量等方面符合高纯多晶硅的要求,纯度不仅可以达到国标(GB/T 12963-2009)电子一级品的标准,还可以满足区熔用超高纯多晶硅的要求。合理控制反应条件、保持反应环境的高度洁净,能够得到均匀、致密的高纯多晶硅棒,可以作为区熔法生产单晶硅棒的原料。     

电子级多晶硅生产中间产品氯硅烷中痕量磷含量检测方法进展

采用改良西门子法在生产电子级多晶硅过程中,精馏中间产物氯硅烷通入多晶硅还原炉,通过氢气还原氯硅烷生产多晶硅,其中氯硅烷中存在的各种形式的磷作为施主杂质,对电子级多晶硅产品质量影响重大。文章系统阐述电子级多晶硅生产中间产品氯硅烷中痕量磷含量的检测方法及研究进展,通过比较各种氯硅烷中痕量磷含量杂质检测方法的优缺点,以供日常检测参考。     

多晶硅生产中废气处理工艺改造

多晶硅作为一种电子产业、太阳能应用产业中的常用材料,随着近年来的科技水平与产业发展实际,导致中国的多晶硅的需求量也逐渐增加。对此文章将结合多晶硅生产工艺流程,探究废气处理期间存在的问题与工艺改造的方法,期待能为产业发展提供参考。     

多晶硅废水处理工艺优化

文章针对多晶硅生产过程中,废水产量大且处理困难的问题,限制了我国电子零部件制造行业和太阳能产业发展的问题,以国内某大型多晶硅生产企业为研究对象,搭建了多晶硅废水处理系统,对多晶硅废水处理工艺进行了优化。文章首先对多晶硅生产过程中排放的废水进行了分类,然后针对每一类废水介绍其处理工艺,最后分析了处理工艺的效果。经过一年的试运行,系统在企业运行稳定,起到了降本增效的目的,此优化后的工艺值得其他多晶硅生产企业借鉴和参考。     

硅烷热分解方法中温度对硅棒质量的影响

针对采用CVD反应器的硅烷热分解工艺制备棒状高纯多晶硅的过程进行了研究。理论上研究了硅烷受热分解的过程,以及温度梯度对硅沉积的影响。从应用角度出发,研究了制备过程中棒状多晶硅致密性、能耗、硅烷转化率等方面的影响因素。通过降低杂质和改善硅棒外观,使生产的多晶硅棒达到了区熔级的标准,并成功区熔成晶。提出了在制备工艺中尚待优化的问题,指出采用侧面间接进气方式有利于沉积的均匀性和致密性。     

精馏节能减排和高效分离在多晶硅生产中的应用

社会不断发展,科技也在快速进步,在日常生产生活中多晶硅渐渐融入我们的生活。作为一种在各个领域内广泛使用的工业原材料,多晶硅举足轻重。文章在介绍多晶硅制备工艺和加工方法,以及精馏节能技术对于优化多晶硅质量和应用于生产多晶硅的情况。     

不同在线色谱仪在多晶硅生产中的应用分析

多晶硅在工艺生产中比较复杂,在工艺条件的上要求非常严格,在产品品质上极高的质量要求。在单质硅中多晶硅是其中的一种形态,多晶硅是取向这些成晶面不同的晶粒,以金刚石的形态利用物理化学等手段方法将其排列成许多的晶核。西门子、ABB、SRA、为目前国内多晶硅厂家使用的在线色谱仪的主要厂家,描述了三大厂家在多晶硅在生产中的使用情况,介绍了三类在线色谱仪的特点。     

西门子法多晶硅生产中的质量控制难点及措施

西门子法冷氢化工艺日趋完善和成熟,各规模企业在实际生产中对生产高质量的多晶硅也有了较多的经验和总结,这对我国未来多晶硅行业的发展奠定了坚实基础。本文主要针对多晶硅生产中的质量控制提出新的思路,通过生产过程的质量控制,实现稳定高质量的多晶硅生产。     

刍议四氯化硅的多晶硅副产物的有效利用

随着科技的不断发展，清洁能源也得到了开发和利用，随着光伏产业迅猛发展，加速了多晶硅产业的发展。三氯氢硅是多晶硅生产的主要原料，在其生产过程中，最主要的副产物就是四氯化硅，而四氯化硅将会带来严重的环境污染。因此，对四氯化硅进行合理处理，对多晶硅绿色生产的实现具有较大的现实意义。本文主要对四氯化硅的应用现状给予介绍，并对多晶硅副产物的有效利用进行探究，比如制备光纤原料高纯四氯化硅、三氯氢硅、硅酸酯类及白炭黑等。